單晶定向裝置是我公司和北京京聯發數控科技有限公司、北京有研半導體材料股份有限公司共同合作研發的。安裝在外圓滾磨和端面機床上,該產品的推出,受到半導體材料行業的充分肯定,同時填補了國內空白。市場占有率達95%以上。 定向裝置是利用射線衍射原理,在滾磨機和端面機床上精確測定單晶的(110面)藍寶石A晶向、端面機床C晶向角度。由于該裝置與機床機固定在一起,因而消除了由于晶棒二次裝夾所帶來的定位誤差,同時也解決了大尺寸晶棒無法在普通定向儀上定向的問題。并保證了測量晶體角度的精確性,提高了產品定向精度,滿足了大批量生產的需求。
該裝置與機床配套已廣泛應用于單晶硅、藍寶石、砷化鎵、鍺等單晶行業。
規 格 表:
名 稱 |
項 目 |
測量角度 |
固定式角度 |
外圓滾磨機機床 |
單晶硅:110 |
外圓滾磨機機床 |
藍寶石:A |
外圓滾磨機機床 |
砷化鎵 :110 |
外圓滾磨機機床 |
鍺;110 |
端面磨機床 |
藍寶石:C |
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